https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34356| Title: | Анализ дефектов интегральных схем с использованием растро-вого электронного микроскопа в режиме наведенного тока |
| Authors: | Солодуха ., В. А. Шведов, С. В. Петлицкий, А. Н. Петлицкая, Т. В. Чигирь, Г. Г. Пилипенко, В. А. Филипеня, В. А. Жигулин, Д. В. Уситименко, Д. С. |
| Keywords: | публикации ученых;дефект микросхемы;растровый электронный микроскоп;режим наведенного тока |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | Издательский центр «Политехпериодика» г. Одесса |
| Citation: | Анализ дефектов интегральных схем с использованием растро-вого электронного микроскопа в режиме наведенного тока / В. А. Солодуха [и др.] // Современные информационные и электронные технологии (СИ-ЭТ-2018): сборник трудов 19-ой Международной научно-практической конференции, Одесса, 28 мая – 01 июня 2018 г. - Одесса, 2018. - С. 48 - 49. |
| Abstract: | В работе представлены результаты анализа скрытых дефектов интегральной микросхемы с использованием растрового электронного микроскопа в режиме наведенного тока. Не осуществляя послойного стравливания топологических слоев, удалось зафиксировать точное месторасположения пробоя конденсаторного диэлектрика. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34356 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Solodukha_Analiz.pdf | 815.36 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.