Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34357
Title: Современные методы и оборудование для исследования полупроводниковых структур микро- и наноэлектроники в центре коллективного пользования "Белмикроанализ" ОАО"ИНТЕГРАЛ"
Authors: Солодуха, В. А.
Петлицкий, А. Н.
Петлицкая, Т. В.
Пилипенко, В. А.
Ковальчук, Н. С.
Keywords: публикации ученых;анализ отказов ИМС;аттестация технологических процессов;анализ конструкции ИМС;контроль химического состава
Issue Date: 2018
Publisher: Видавництво ТОВ "Рik-У", Украина
Citation: Современные методы и оборудование для исследования полупроводниковых структур микро- и наноэлектроники в центре коллективного пользования "Белмикроанализ" ОАО"ИНТЕГРАЛ" / В. А. Солодуха [и др.] // Сборник трудов VIII Украинской конференция по физике полупро-водников, Ужгород, 2 - 4 октября 201г. / Черновицкий национальный университет имени Юрия Федьковича. - Ужгород, 2018. - С. 402 - 403.
Abstract: Приведены основные виды дея-тельности Государственного центра пользования "Белмикроанализ" ОАО"ИНТЕГРАЛ" .
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34357
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Pilipenko_Sovremennyye.PDF463.2 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.