Современные методы и оборудование для исследования полупроводниковых структур микро- и наноэлектроники в центре коллективного пользования "Белмикроанализ" ОАО"ИНТЕГРАЛ"

Солодуха, В. А.; Петлицкий, А. Н.; Петлицкая, Т. В.; Пилипенко, В. А.; Ковальчук, Н. С.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34357

Title:	Современные методы и оборудование для исследования полупроводниковых структур микро- и наноэлектроники в центре коллективного пользования "Белмикроанализ" ОАО"ИНТЕГРАЛ"
Authors:	Солодуха, В. А. Петлицкий, А. Н. Петлицкая, Т. В. Пилипенко, В. А. Ковальчук, Н. С.
Keywords:	публикации ученых;анализ отказов ИМС;аттестация технологических процессов;анализ конструкции ИМС;контроль химического состава
Issue Date:	2018
Publisher:	Видавництво ТОВ "Рik-У"
Citation:	Современные методы и оборудование для исследования полупроводниковых структур микро- и наноэлектроники в центре коллективного пользования "Белмикроанализ" ОАО"ИНТЕГРАЛ" / В. А. Солодуха [и др.] // Сборник трудов VIII Украинской конференция по физике полупро-водников, Ужгород, 2 - 4 октября 201г. / Черновицкий национальный университет имени Юрия Федьковича. - Ужгород, 2018. - С. 402 - 403.
Abstract:	Приведены основные виды дея-тельности Государственного центра пользования "Белмикроанализ" ОАО"ИНТЕГРАЛ" .
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34357
Appears in Collections:	Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Pilipenko_Sovremennyye.PDF		463.2 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar