https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34364| Title: | Электрохимическое заполнение TSv-отверстий на реверсированном токе |
| Authors: | Кушнер, Л. К. Степанова, Л. И. Кузьмар, И. И. Хмыль, А. А. Лазарук, С. К. Долбик, А. В. |
| Keywords: | публикации ученых;материалы конференций;TSV-межсоединения;макропористый кремний;химическое осаждение металлов |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | Московский технологический университет |
| Citation: | Электрохимическое заполнение TSv-отверстий на реверсированном токе / Л. К. Кушнер [и др.] // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения : материалы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC- 2018», Москва,19–23 ноября 2018 г. – Москва : Московский технологический университет (МИРЭА), 2018. – Том 18, № 1. – С. 179–182. |
| Abstract: | В работе рассмотрены вопросы формирования TSV-межсоединений методами анодного растворения, химического и электрохимического осаждения из растворов, являющимися весьма перспективными вследствие простоты, низкой стоимости оборудования для их реализации, селективности осаждения, возможности управления составом и свойствами осадков. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34364 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Kushner_Elektrokhimicheskoye.pdf | 1.17 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.