Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34383
Title: Влияние режимов формирования силицида платины методом быстрой термообработки на параметры диодов Шоттки
Other Titles: The impact of formation modes of platinum silicide by the quick heat treatment on Schottky diodes parameters
Authors: Солодуха, В. А.
Пилипенко, В. А.
Горушко, В. А.
Филипеня, В. А.
Keywords: доклады БГУИР
диод Шоттки
быстрая термообработка
силицид платины
высота барьера
ток утечки
Schottky diode
quick heat treatment
platinum silicide
barrier height
leakage current
Issue Date: 2019
Publisher: БГУИР
Citation: Влияние режимов формирования силицида платины методом быстрой термообработки на параметры диодов Шоттки / В. А. Солодуха [и др.] // Доклады БГУИР. - 2019. - № 1 (119). - С. 62 - 67.
Abstract: Приведены результаты исследования влияния режимов формирования силицида платины с применением быстрой термической обработки на электорофизические параметры диодов Шоттки. Показано, что данная обработка, по сравнению с традиционной, позволяет за счет уменьшения микрорельефа границы раздела PtSi–Si, а также получения в результате обработки менее дефектной и равновесной структуры барьерного слоя повысить высоту барьера с 0,804 до 0,825 В, снизить ток утечки с –4,42·10-6 до –2,85·10-6 А и в 1,25 раза повысить надежность диодов Шоттки при температуре эксплуатации 125 °С. The results of studying of the impact of formation modes of platinum silicide using qiuck heat treatment on electrophysical parameters of Schottky diodes are presented. It is shown that this treatment, as compared to the traditional one, allows at the cost of reducing of microrelief of boundary of PtSi–Si, and also obtaining as a result of treatment a less defective and equilibrium structure of the barrier layer, to raise barrier height from 0,804 to 0,825 V, to reduce leakage current from –4,42·10-6 to –2,85·10-6 A and in 1,25 times and to raise the reliability of Schottky diodes at operating temperature 125 °C.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34383
Appears in Collections:№1 (119)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Solodukha_Vliyaniye.PDF1.98 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.