Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34429
Title: Круглая магнетронная распылительная система для формирования наноразмерных проводящих слоев
Authors: Аксючиц, А. В.
Леонович, Н. В.
Keywords: материалы конференций
магнетронная распылительная система
наноразмерные проводящие слои
Issue Date: 2018
Publisher: БГУИР
Citation: Аксючиц, А. В. Круглая магнетронная распылительная система для формирования наноразмерных проводящих слоев / А. В. Аксючиц, Н. В. Леонович // Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23 - 27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск, 2018. - С. 137.
Abstract: Тонкопленочные технологии находят широкое применение в микро- и наноэлектронике для изготовления изделий магнито-, крио-, оптоэлектроники и для получения широкого круга оптических покрытий различного назначения. Следует подчеркнуть, что поведение электронов в тонких пленках качественно отличается от поведения в массивах благодаря возникновению новых, так называемых квантовых размерных эффектов. Эти явления используют, в частности, в тонкопленочных микросхемах, составляющих основу современной микроэлектроники. Для получения таких тонких плёнок можно использовать магнетронные распылительные системы.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34429
Appears in Collections:Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Aksyuchits_Kruglaya.PDF223.9 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.