https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34435| Title: | Пьезосенсор измерения толщины плёнок в процессе нанесения |
| Authors: | Федосенко, В. С. |
| Keywords: | материалы конференций;пьезоэлектрический метод;кварцевый измеритель толщины |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Федосенко, В. С. Пьезосенсор измерения толщины плёнок в процессе нанесения / В. С. Федосенко // Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23 - 27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск, 2018. - С. 173 - 174. |
| Abstract: | Пьезоэлектрическим методом, с использованием кварцевого измерителя ,контролируется и определяется толщина плёнок в процессе их нанесения. Для получение высококачественных пленок с заранее заданными и воспроизводимыми параметрами очень важен строгий контроль при их нанесении. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34435 |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 54-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Fedosenko_Pyezosensor.PDF | 257.19 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.