https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34678| Title: | Формирование диффузионных барьерных слоев при локальном осаждении меди |
| Authors: | Саратокина, В. И. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;медная металлизация;диффузионно-барьерные слои |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Саратокина, В. И. Формирование диффузионных барьерных слоев при локальном осаждении меди : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 01 / В. И. Саратокина ; науч. рук. А. Г. Черных. - Минск : БГУИР, 2018. – 6 с. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34678 |
| Appears in Collections: | 1-41 80 01 Микро- и наноэлектроника |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Saratokina_Formirovanie.pdf | 341.17 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.