Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34871
Title: Электрофизические процессы и оборудование в технологии микро– и наноэлектроники
Authors: Достанко, А. П.
Русецкий, А. М.
Бордусов, С. В.
Ланин, В. Л.
Ануфриев, Л. П.
Карпович, С. В.
Жарский, В. В.
Плебанович, В. И.
Адамович, А. Л.
Грозберг, Ю. А.
Голосов, Д. А.
Завадский, С. М.
Соловьев, Я. А.
Дайняк, И. В.
Ковальчук, Н. С.
Петухов, И. Б.
Телеш, Е. В.
Мадвейко, С. И.
Keywords: монография;публикация ученых;микроэлектроника;электрофизические процессы;наноэлектроника
Issue Date: 2011
Publisher: Бестпринт, Республика Беларусь
Citation: Электрофизические процессы и оборудование в технологии микро– и наноэлектроники: монография / А. П. Достанко [и др.] ; под ред. А. П. Достанко, А. М. Русецкого. – Минск: Бестпринт, 2011. – 210 с.: ил.
Abstract: Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области теории, технологии и оборудования для электрофизических методов обработки материалов изделий микро- и наноэлектроники.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34871
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Elektrofizicheskiye.pdf10.87 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.