https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34912| Title: | Свойства кремния, легированного примесью никеля методом диффузии |
| Other Titles: | Properties of silicon doped with nickel impurity by diffusion method |
| Authors: | Асташенков, А. С. Бринкевич, Д. И. Петров, В. В. |
| Keywords: | доклады БГУИР;кремний;диффузия никеля;удельное сопротивление;время жизни;термообработка |
| Issue Date: | 2008 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Асташенков, А. С. Свойства кремния, легированного примесью никеля методом диффузии / А. С. Асташенков, Д. И. Бринкевич, В. В. Петров // Доклады БГУИР. - 2008. - № 8 (38). - С. 37 - 43. |
| Abstract: | Поведение примеси никеля в монокристаллическом кремнии изучено методами измерения эффекта Холла, проводимости и времени жизни неравновесных носителей заряда. Определен оптимальный режим диффузии: нагрев длительностью 15–35 ч в диапазоне температур 925–960 С. Верхний температурный предел определяется эвтектическими превращениями в системе Si–Ni; нижний — распадом пересыщенного твердого раствора никеля в кремнии. Установлено, что взаимодействие примесей никеля и кислорода подавляет генерацию термодоноров, вводимых при 450 С, и не влияет на образование высокотемпературных термодоноров, образующихся при 650 С. |
| Alternative abstract: | The nickel impurity behavior in monocrystal silicon is studied by the Hall Effect, conductivity and minority caries lifetime measurements methods. It was shown that Ni introduced by diffusion process in n-Si is compensated impurity. It was estimated the optimal diffusion regime: (15–35) hour heating at 925–960 C. The upper temperature limit is definited by the eutectic transformations in the Si – Ni system; the lower — by the disintegration of Ni solid saturated solution in silicon. It was shown that interaction between nickel and oxygen atoms suppresses the generation of thermodonors introduced at 450 C and does not influence on the formation of high temperature thermodonors introduced at 650 C. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34912 |
| Appears in Collections: | №8 (38) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Astashenkov_Properties.PDF | 391.32 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.