Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34993
Title: Особенности вертикального масштабирования при создании биполярных микросхем
Other Titles: Peculiarities of vertical scaling when creating bipolar microcircuits
Authors: Пилипенко, В. А.
Понарядов, В. В.
Горушко, В. А.
Шведов, В. С.
Сякерский, В. С.
Петлицкая, Т. В.
Keywords: доклады БГУИР;быстрая термообработка;диэлектрик
Issue Date: 2010
Publisher: БГУИР
Citation: Особенности вертикального масштабирования при создании биполярных микросхем / В. А. Пилипенко [и др.] // Доклады БГУИР. - 2010. - № 4 (50). - С. 31 - 36.
Abstract: Показано, что использование быстрых термических обработок в технологическом процессе создания интегральных микросхем позволяет формировать мелкозалегающие p-n-переходы за счет уменьшения перераспределения внедренной примеси при данной обработке без ухудшения их электрических характеристик. Разработана конструкция формирования n-p-n- и p-n-p-транзисторов, позволяющая провести вертикальное масштабирование интегральных микросхем в два раза без изменения топологических норм их проектирования.
Alternative abstract: It is shown, that application of the fast thermal treatments in the technological process of creation of the integrated microcircuits ensures formation of the shallow bulk p-n-junctions due to reduction of redistribution of the implanted impurity with the given processing without deterioration of their electric characteristics. The formation design is developed of the n-p-n- and p-n-p-transistors, making it possible to perform the two times vertical scaling of the integrated microcircuits without variation of the layout rated norms of their design development.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34993
Appears in Collections:№4 (50)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Pilipenko_Peculiarities.PDF545.31 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.