https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/3501| Title: | Магнетронная распылительная система для формирования наноструктур |
| Authors: | Кутько, А. Н. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;наноструктуры;магнетронная распылительная система |
| Issue Date: | 2015 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Кутько А. Н. Магнетронная распылительная система для формирования наноструктур : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 02 / А. Н. Кутько ; науч. рук. Д. А. Котов. - Мн.: БГУИР, 2015. - 6 с. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/3501 |
| Appears in Collections: | 1-41 80 03 Нанотехнологии и наноматериалы (в электронике) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Автореферат.pdf | 363.18 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.