https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/35043| Название: | Роботизированная установка быстрой термической обработки для создания изделий электронной техники |
| Другие названия: | Rapid thermal treatment robotics unit for creation of electronic equipment devices |
| Авторы: | Солодуха, В. А. Пилипенко, В. А. Яковлев, В. П. |
| Ключевые слова: | доклады БГУИР;камера отжига;длительность импульса;кремниевая пластина;равномерность нагрева |
| Дата публикации: | 2019 |
| Издательство: | БГУИР |
| Описание: | Солодуха, В. А. Роботизированная установка быстрой термической обработки для создания изделий электронной техники / В. А. Солодуха, В. А. Пилипенко, В. П. Яковлев // Доклады БГУИР. – 2019. – № 4 (122). – С. 92-97. |
| Аннотация: | Приведены конструктивные особенности автоматической установки быстрой термической обработки кремниевых пластин диаметром 100 мм. Для нагрева в установке используются галогенные лампы с вольфрамовой спиралью КГТ 220-2000-3 в количестве 12 штук, которые обеспечивают нагрев пластины до 1200 о С со скоростью набора температуры 10–150 о С/с в течение 0,1−600 с. Предусмотрен процесс отжига как в вакууме, так и в различных газовых средах. Производительность установки с учетом загрузки пластины, создания вакуума в камере, напуска в камеру требуемого газа, термообработки по заданной программе и выгрузки составляет ≤ 60 пл./ч. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/35043 |
| Располагается в коллекциях: | №4 (122) |
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Solodukha_Robotizirovannaya.PDF | 895.83 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.