Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37311
Title: Плазменный синтез тонких пленок нитрида углерода
Authors: Филимонов, Н. С.
Keywords: материалы конференций;плазменный синтез;пленка
Issue Date: 2019
Publisher: БГУИР
Citation: Филимонов, Н. С. Плазменный синтез тонких пленок нитрида углерода / Филимонов Н. С. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 385-386.
Abstract: Проведено исследование влияния состава рабочего газа и температуры подложки на спектральные и трибологические характеристики пленок нитрида углерода при синтезе прямым осаждением из ионных пучков метана и азота. Нагрев подложки приводил в снижению пропускания и коэффициента трения.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37311
Appears in Collections:Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Filimonov_Plazmennyy.pdf715.65 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.