Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37315
Title: Ионно-лучевой синтез тонкопленочных покрытий из СF
Authors: Гиль, Г. С.
Данилевич, Д. С.
Keywords: материалы конференций;пленка СF
Issue Date: 2019
Publisher: БГУИР
Citation: Гиль, Г. С. Ионно-лучевой синтез тонкопленочных покрытий из СF / Гиль Г. С., Данилевич Д. С. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 271.
Abstract: Проведено исследование влияния состава рабочего газа, напряжения на мишени и температуры подложки при нанесении пленок СF реактивным ионно-лучевым распылением графитовой мишени на скорость нанесения, электрофизические, спектральные и гидрофобные характеристики.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37315
Appears in Collections:Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Gil_Ionno-luchevoy.pdf546.24 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.