Моделирование процесса лазерной прошивки отверстий в кремнии при формировании 3D структур

Лаппо, А. И.; Боброва, Т. С.; Кузнецова, О. В.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37370

Title:	Моделирование процесса лазерной прошивки отверстий в кремнии при формировании 3D структур
Authors:	Лаппо, А. И. Боброва, Т. С. Кузнецова, О. В.
Keywords:	материалы конференций;математическое моделирование;3D электронные модули
Issue Date:	2019
Publisher:	БГУИР
Citation:	Лаппо, А. И. Моделирование процесса лазерной прошивки отверстий в кремнии при формировании 3D структур / Лаппо А. И., Боброва Т. С., Кузнецова О. В. // Информационные технологии и системы 2019 (ИТС 2019) = Information Teсhnologies and Systems 2019 (ITS 2019) : материалы международной научной конференции, Минск, 30 октября 2019 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники; редкол. : Л. Ю. Шилин [и др.]. – Минск, 2019. – С. 232 – 233.
Abstract:	Математическое моделирование температурно-временных зависимостей и распределение тепловых полей нагрева кремневой пластины при формирование переходных отверстий лазерным источником.
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37370
Appears in Collections:	ИТС 2019

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Lappo_Modelirovaniye.pdf		490.46 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar