https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37462| Title: | Эволюция микроструктуры тонких пленок сплава Al-1.0 ат. % Cr при ионно-ассистированном осаждении на стекло |
| Authors: | Ташлыкова-Бушкевич, И. И. Яковенко, Ю. С. Мойсейчик, Е. С. Бейда, А. И. |
| Keywords: | публикации ученых;микроструктура;тонкие пленки алюминия;хром;ионно-ассистированное осаждение |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | ООО "Ковчег" |
| Citation: | Эволюция микроструктуры тонких пленок сплава Al-1.0 ат. % Cr при ионно-ассистированном осаждении на стекло / И. И. Ташлыкова-Бушкевич, Ю. С. Яковенко, Е. С. Мойсейчик, А. И. Бейда // Актуальные проблемы физики твердого тела : сб. докл. VIII Междунар. науч. конф., Минск, 24-28 сент. 2018 г. : в 3 т. Т. 3 / ред. колл.: Н. М. Олехнович [и др.]. – Минск : Ковчег, 2018. – C. 170-172. |
| Abstract: | Для управления свойствами тонкопленочных металлических покрытий при их осаждении на подложку необходима диагностика микроструктуры поверхности системы покрытие/подложка. В данной работе на примере тонких пленок сплава Al-1.0 ат. % Cr, характеризующегося высокой термической стабильностью, обсуждаются экспериментальные результаты исследования изменения микроструктуры тонких металлических пленок, полученных методом ионно-ассистированного осаждения (ОПАСИ), в зависимости от условий формирования покрытий. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37462 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Tashlykova_Bushkevich_Evolyutsiya.pdf | 642.12 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.