https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37532
Title: | Микромеханические приводы движения |
Authors: | Полищук, С. И. |
Keywords: | материалы конференций;микроэлектромеханические системы;мехатроника |
Issue Date: | 2012 |
Publisher: | БГУИР |
Citation: | Полищук, С. И. Микромеханические приводы движения / С. И. Полищук // Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных средств : материалы 48–ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 7–11 мая 2012 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: М. П. Батура [и др.]. – Минск, 2012. – С. 58. |
Abstract: | Микроэлектромеханические системы (МЭМС) представляют собой устройства размером до 1 мм, в которых электронная часть неразрывно объединена с механической. МЭМС представляют собой мехатронику на микроуровне. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37532 |
Appears in Collections: | Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 48-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2012) |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Polishchuk_Mikromekhanicheskiye.pdf | 339.8 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.