Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37532
Title: Микромеханические приводы движения
Authors: Полищук, С. И.
Keywords: материалы конференций;микроэлектромеханические системы;мехатроника
Issue Date: 2012
Publisher: БГУИР
Citation: Полищук, С. И. Микромеханические приводы движения / С. И. Полищук // Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных средств : материалы 48–ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 7–11 мая 2012 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: М. П. Батура [и др.]. – Минск, 2012. – С. 58.
Abstract: Микроэлектромеханические системы (МЭМС) представляют собой устройства размером до 1 мм, в которых электронная часть неразрывно объединена с механической. МЭМС представляют собой мехатронику на микроуровне.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37532
Appears in Collections:Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 48-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2012)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Polishchuk_Mikromekhanicheskiye.pdf339.8 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.