| Title: | Системы концентрации СВЧ и НЧ энергии для возбуждения комбинированного разряда |
| Authors: | Козлова, С. А. |
| Keywords: | материалы конференций;СВЧ-плазма;СВЧ-энергия;плазма;низкочастотный генератор |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Козлова, С. А. Системы концентрации СВЧ и НЧ энергии для возбуждения комбинированного разряда / С. А. Козлова // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22–26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2019. – С. 323–325. |
| Abstract: | Представлены конструкции систем подвода и концентрации СВЧ и НЧ энергии в двухчастотном плазменном разрядном устройстве, предназначенном для целей реактивно-ионного травления материалов при формировании элементов микроструктуры изделий электронной техники. Основу конструкции составляет СВЧ плазмотрон резонаторного типа с аппликатором в форме замкнутой в кольцо волнововодно-щелевой антенны. По оси СВЧ аппликатора располагается вакуумированная кварцевая камера, по торцам которой размещены плоские электроды низкочастотной газоразрядной системы емкостного типа. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/37913 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019)
|
