https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38075| Title: | Спектральные исследования тонкопленочных слоев из SiOF |
| Authors: | Юшкевич, С. А. |
| Keywords: | материалы конференций;спектральные исследования;тонкие пленки;SiOF |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Юшкевич, С. А. Спектральные исследования тонкопленочных слоев из SiOF / Юшкевич С. А. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22-26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2019. – С. 403-404. |
| Abstract: | Проведено исследование влияния состава рабочего газа и температуры подложки при нанесении пленок SiOF реактивным ионно-лучевым распылением кремниевой мишени на спектральные характеристики. Установлено, что добавка фреона практически не влияет на спектральные характеристики покрытий. Нагрев подложки способствовал сдвигу основной полосы поглощения в более высокочастотную область. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38075 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Yushkevich_Spektralnyye.pdf | 619.94 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.