https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38081| Title: | Оптические характеристики тонких пленок HfO2, полученных реактивным ионно-лучевым распылением |
| Authors: | Зырянова, А. С. |
| Keywords: | материалы конференций;тонкие пленки;реактивное ионно-лучевое распыление |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Зырянова, А. С. Оптические характеристики тонких пленок HfO2, полученных реактивным ионно-лучевым распылением / Зырянова А. С. // Электронные системы и технологии : 55-я юбилейная конференция аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 22–26 апреля 2019 г. : сборник тезисов докладов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2019. – С. 299. |
| Abstract: | Проведено исследование влияния парциального давления кислорода при нанесении пленок HfO2 реактивным ионно-лучевым распылением металлической мишени на скорость нанесения и оптические характеристики. Установлено, что скорость нанесения пленок снижается с ростом содержания кислорода в рабочем газе. Пропускание и поглощение пленок незначительно зависели от состава рабочего газа. Ширина запрещенной зоны составила 5,63 эВ. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38081 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 55-й юбилейной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2019) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Zyryanova_Opticheskiye.pdf | 504.58 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.