https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38243| Title: | Влияние режимов формирования и условий термообработки на фазовый состав и структуру кремний-углеродных покрытий, осаждаемых ионно-лучевым распылением |
| Authors: | Руденков, А. С. Рогачев, А. В. Купо, А. Н. Завадский, С. М. Голосов, Д. А. Лучников, П. А. |
| Keywords: | публикации ученых;углеродные покрытия;атомно-силовая микроскопия;шероховатость;фазовый состав;кремний;ионно-лучевое распыление;КР-спектроскопия;РФЭС |
| Issue Date: | 2019 |
| Publisher: | Издательство Радиотехника |
| Citation: | Влияние режимов формирования и условий термообработки на фазовый состав и структуру кремний-углеродных покрытий, осаждаемых ионно-лучевым распылением / А. С. Руденков [и др.] // Наноматериалы и наноструктуры - XXI век. – 2019. – Т. 10, № 2. – С. 29 – 36. – DOI: https://doi.org/10.18127/j22250999-201902-04. |
| Abstract: | Исследовано влияние режимов формирования и термообработки кремний-углеродных покрытий, осаждаемых путем ионнолучевого распыления карбида кремния, на их морфологию, химический и фазовый состав. Установлено, что увеличениемощности ионного-источника с 432 Вт до 738 Вт ведет к уменьшению фазового соотношения sp3/sp2 в 1,7 раза и увеличениюсоотношения Si-C/Si-O связей в 1,9 раза. Показано, что легирование углеродных покрытий карбидом кремния способствуетувеличению их термостойкости. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38243 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Rudenkov_Vliyaniye.pdf | 825.78 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.