Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38243
Title: Влияние режимов формирования и условий термообработки на фазовый состав и структуру кремний-углеродных покрытий, осаждаемых ионно-лучевым распылением
Authors: Руденков, А. С.
Рогачев, А. В.
Купо, А. Н.
Завадский, С. М.
Голосов, Д. А.
Лучников, П. А.
Keywords: публикации ученых;углеродные покрытия;атомно-силовая микроскопия;шероховатость;фазовый состав;кремний;ионно-лучевое распыление;КР-спектроскопия;РФЭС
Issue Date: 2019
Publisher: Издательство Радиотехника
Citation: Влияние режимов формирования и условий термообработки на фазовый состав и структуру кремний-углеродных покрытий, осаждаемых ионно-лучевым распылением / А. С. Руденков [и др.] // Наноматериалы и наноструктуры - XXI век. – 2019. – Т. 10, № 2. – С. 29 – 36. – DOI: https://doi.org/10.18127/j22250999-201902-04.
Abstract: Исследовано влияние режимов формирования и термообработки кремний-углеродных покрытий, осаждаемых путем ионнолучевого распыления карбида кремния, на их морфологию, химический и фазовый состав. Установлено, что увеличениемощности ионного-источника с 432 Вт до 738 Вт ведет к уменьшению фазового соотношения sp3/sp2 в 1,7 раза и увеличениюсоотношения Si-C/Si-O связей в 1,9 раза. Показано, что легирование углеродных покрытий карбидом кремния способствуетувеличению их термостойкости.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38243
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Rudenkov_Vliyaniye.pdf825.78 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.