Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38649
Title: Лазерное формирование отверстий в неметаллических подложках
Authors: Ланин, В. Л.
Фам Ван Тунг
Чан Ньян Дат
Keywords: публикации ученых
лазерное излучение
неметаллические подложки
кремний
отверстия
Issue Date: 2020
Publisher: Академия наук Молдовы, Республика Молдова
Citation: Ланин, В. Л. Лазерное формирование отверстий в неметаллических подложках / В. Л. Ланин, Фам Ван Тунг, Чан Ньян Дат // Электронная обработка материалов. – 2020. – № 1(56). – С. 76–83. – DOI: 10.5281/zenodo.3640390.
Abstract: Предложено использование импульсного пикосекундного лазера с длиной волны 532 нм и частотой повторения 15 Гц для формирования отверстий диаметром до 0,1 мм в неметаллических подложках: кремнии, керамике и др. Моделированием в MathCAD и COMSOL Multiphysics установлено, что значение половинного угла раствора светового конуса, которое зависит от фокусировки лазерного излучения, оказывает значительное влияние на глубину и диаметр отверстий при лазерной обработке. Исследовано влияние режимов лазерной обработки наносекундным и пикосекундными лазерами с длинами волн 1064 и 532 нм на конусообразность и время формирования отверстий в кремниевых подложках.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38649
Appears in Collections:Публикации в изданиях других стран

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Lanin_Lazernoye.pdf363,02 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.