https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/388| Title: | Методы контроля и анализа в технологии изготовления интегральных микросхем : учебно - метод. пособие |
| Authors: | Котов, Д. А. Черных, А. Г. |
| Keywords: | учебно-методические пособия;изготовление интегральных микросхем;интегральные микросхемы;контроль |
| Issue Date: | 2010 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Котов, Д. А. Методы контроля и анализа в технологии изготовления интегральных микросхем : учебно - метод. пособие / Д. А. Котов, А. Г. Черных. – Минск : БГУИР, 2010. – 48 с. : ил. |
| Abstract: | Систематизированы физические методы исследования структуры, фазового состава, электрофизических свойств материалов и многослойных тонкопленочных структур, используемых в микроэлектронике для создания интегральных микросхем (ИМС), а также для тестового контроля микросхем. Изложены результаты по применению методов контроля и анализа на различных этапах разработки изделий электронной техники, показано их место в технологической цепочке создания ИМС. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/388 |
| ISBN: | 978-985-488-499-8. |
| Appears in Collections: | Кафедра микро- и наноэлектроники |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Kotov_metodi.pdf | 9.05 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.