Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/388
Title: Методы контроля и анализа в технологии изготовления интегральных микросхем : учебно - метод. пособие
Authors: Котов, Д. А.
Черных, А. Г.
Keywords: учебно-методические пособия;изготовление интегральных микросхем;интегральные микросхемы;контроль
Issue Date: 2010
Publisher: БГУИР
Citation: Котов, Д. А. Методы контроля и анализа в технологии изготовления интегральных микросхем : учебно - метод. пособие / Д. А. Котов, А. Г. Черных. – Минск : БГУИР, 2010. – 48 с. : ил.
Abstract: Систематизированы физические методы исследования структуры, фазового состава, электрофизических свойств материалов и многослойных тонкопленочных структур, используемых в микроэлектронике для создания интегральных микросхем (ИМС), а также для тестового контроля микросхем. Изложены результаты по применению методов контроля и анализа на различных этапах разработки изделий электронной техники, показано их место в технологической цепочке создания ИМС.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/388
ISBN: 978-985-488-499-8.
Appears in Collections:Кафедра микро- и наноэлектроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Kotov_metodi.pdf9.05 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.