Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38892
Title: Обеспечение безопасной работы оборудования при формировании алюминиевых межсоединений
Authors: Микулич, Е. Л.
Keywords: материалы конференций;алюминевые межсоединения;интегральные микросхемы;безопасность технологического процесса
Issue Date: 2012
Publisher: БГУИР
Citation: Микулич, Е. Л. Обеспечение безопасной работы оборудования при формировании алюминиевых межсоединений / Е. Л. Микулич // Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных средств : материалы 48–ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 7 – 11 мая 2012 г. / редкол.: М. П. Батура [и др.]. – Минск : БГУИР, 2012. – С. 214.
Abstract: В данной работе была проведена сравнительная характеристика надёжности магнетронных распылительных систем, а так же выявлены определяющие факторы, которые оказывают влияние на безопасность технологического процесса.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38892
Appears in Collections:Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 48-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2012)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Mikulich_Obespecheniye.pdf223.72 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.