https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38892| Title: | Обеспечение безопасной работы оборудования при формировании алюминиевых межсоединений |
| Authors: | Микулич, Е. Л. |
| Keywords: | материалы конференций;алюминевые межсоединения;интегральные микросхемы;безопасность технологического процесса |
| Issue Date: | 2012 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Микулич, Е. Л. Обеспечение безопасной работы оборудования при формировании алюминиевых межсоединений / Е. Л. Микулич // Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных средств : материалы 48–ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 7 – 11 мая 2012 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: М. П. Батура [и др.]. – Минск, 2012. – С. 214. |
| Abstract: | В данной работе была проведена сравнительная характеристика надёжности магнетронных распылительных систем, а так же выявлены определяющие факторы, которые оказывают влияние на безопасность технологического процесса. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38892 |
| Appears in Collections: | Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 48-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2012) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Mikulich_Obespecheniye.pdf | 223.72 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.