Метод экспресс-анализа фазовых превращений в ультратонких силицидах никеля

Abstract

В современной микроэлектронике первостепенное значение имеют совокупность функциональных характеристик и размера изделия. Стремление миниатюризировать изделия послужило толчком к развитию наноэлектроники, что, в свою очередь, стимулировало поиск новых тонкопленочных материалов, обладающих необходимыми характеристиками, такими как электрическое сопротивление, температурная и морфологическая стабильность и др. Одним из таких материалов является моносилицид никеля NiSi, и изучению его свойств при толщине пленки менее 20 нм и посвящена данная работа.