https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38930| Title: | Метод экспресс-анализа фазовых превращений в ультратонких силицидах никеля |
| Authors: | Емельянов, А. И. Артюх, А. В. |
| Keywords: | материалы конференций;ультратонкие силициды никеля;измерение поверхностного сопротивления |
| Issue Date: | 2012 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Емельянов, А. И. Метод экспресс-анализа фазовых превращений в ультратонких силицидах никеля / А. И. Емельянов, А. В. Артюх // Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных средств : материалы 48–ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 7 – 11 мая 2012 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: М. П. Батура [и др.]. – Минск, 2012. – С. 108–109. |
| Abstract: | В современной микроэлектронике первостепенное значение имеют совокупность функциональных характеристик и размера изделия. Стремление миниатюризировать изделия послужило толчком к развитию наноэлектроники, что, в свою очередь, стимулировало поиск новых тонкопленочных материалов, обладающих необходимыми характеристиками, такими как электрическое сопротивление, температурная и морфологическая стабильность и др. Одним из таких материалов является моносилицид никеля NiSi, и изучению его свойств при толщине пленки менее 20 нм и посвящена данная работа. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38930 |
| Appears in Collections: | Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 48-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2012) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Emelianov_Metod.pdf | 329.89 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.