https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38945| Title: | Формирование углеродсодержащих диэлектрических покрытий ионно-лучевым распылением мишеней из кремния и кварца |
| Authors: | Гуревич, О. В. |
| Keywords: | материалы конференций;ионно-лучевое распыление мишеней;диэлектрическое покрытие |
| Issue Date: | 2012 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Гуревич, О. В. Формирование углеродсодержащих диэлектрических покрытий ионно-лучевым распылением мишеней из кремния и кварца / О. В. Гуревич // Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных средств : материалы 48–ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 7 – 11 мая 2012 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: М. П. Батура [и др.]. – Минск, 2012. – С. 103–105. |
| Abstract: | Ионно-лучевым распылением мишеней из кварца и кремния были получены диэлектрические покрытия (Si-O-C). Исследованы электро-физические и оптические характеристики полученных покрытий и их зависимости от параметров процессов нанесения. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/38945 |
| Appears in Collections: | Моделирование, компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 48-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2012) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Gurevich_Formirovaniye2.pdf | 418.01 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.