https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39775| Title: | Методика расчета магнитной ловушки при проектировании магнетронного распылительного устройства |
| Authors: | Бездников, М. С. Шекелевский, В. В. |
| Keywords: | материалы конференций;магнетронные распылительные системы;магнитные ловушки |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Бездников, М. С. Методика расчета магнитной ловушки при проектировании магнетронного распылительного устройства / Бездников М. С. // Радиотехника и электроника : сборник тезисов докладов 56-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель-май 2020 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск : БГУИР, 2020. - С. 76-77. |
| Abstract: | В данной работе представлена методика моделирования магнитного поля при разработке и предварительной оценке характеристик магнетронного распылительного устройства. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39775 |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 56-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Bezdnikov_Metodika.pdf | 605.04 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.