Получение пленок диоксида кремния в плазме атмосферного разряда

Abstract

Рассматривалось получение пленок диоксида кремния с помощью плазмы атмосферного разряда с применением тетраэтоксисилана (ТЭОС) и их исследование. Так же были проведены эксперименты по осаждению пленок оксида кремния при разном соотношении потоков аргона. Было выявлено, что при различном времени обработки и расстоянии плазменной струи от образцов, получалась неравномерность напыления плёнок, что не удивительно с коаксиальным методом. Размер толщин плёнок в большей мере зависит от расстояния между электродами разрядной системы, расстояние от электрода до окончания трубки и расстояния до мишени. Наибольшее влияние на толщины формируемых покрытий оказывает расстояние до мишени.