Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39780
Title: Получение пленок диоксида кремния в плазме атмосферного разряда
Authors: Бруцкая, А. О.
Аксючиц, А. В.
Keywords: материалы конференций;тетраэтоксисилан;атмосферные разряды;плазменная обработка
Issue Date: 2020
Publisher: БГУИР, РБ
Citation: Бруцкая, А. О. Получение пленок диоксида кремния в плазме атмосферного разряда / Бруцкая А. О., Аксючиц А. В. // Радиотехника и электроника : сборник тезисов докладов 56-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель-май 2020 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск : БГУИР, 2020. - С. 96-97.
Abstract: Рассматривалось получение пленок диоксида кремния с помощью плазмы атмосферного разряда с применением тетраэтоксисилана (ТЭОС) и их исследование. Так же были проведены эксперименты по осаждению пленок оксида кремния при разном соотношении потоков аргона. Было выявлено, что при различном времени обработки и расстоянии плазменной струи от образцов, получалась неравномерность напыления плёнок, что не удивительно с коаксиальным методом. Размер толщин плёнок в большей мере зависит от расстояния между электродами разрядной системы, расстояние от электрода до окончания трубки и расстояния до мишени. Наибольшее влияние на толщины формируемых покрытий оказывает расстояние до мишени.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39780
Appears in Collections:Радиотехника и электроника : материалы 56-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Brutskaya_Polucheniye.pdf358.4 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.