https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39873| Title: | Свойства пленок нитрида кремния, полученных методом химического осаждения из газовой фазы с применением плазмы |
| Authors: | Николаенко, С. П. Леонович, Н. В. |
| Keywords: | материалы конференций;плазмохимическое осаждение;газовые среды;нитрид кремния |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Николаенко, С. П. Свойства пленок нитрида кремния, полученных методом химического осаждения из газовой фазы с применением плазмы / Николаенко С. П., Леонович Н. В. // Радиотехника и электроника : сборник тезисов докладов 56-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель-май 2020 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск : БГУИР, 2020. - С. 19. |
| Abstract: | Описаны свойства, применение и способ получения пленок нитрида кремния методом плазмохимического осаждения из газовой фазы. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39873 |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 56-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Nikolayenko_Svoystva.pdf | 356.57 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.