Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/40744
Title: Оптические свойства пленок SiOF, полученных прямым осаждением из ионных пучков
Authors: Данилевич, Д. С.
Keywords: материалы конференций;пленки SiOF;ионные пучки
Issue Date: 2020
Publisher: БГУИР
Citation: Данилевич, Д. С. Оптические свойства пленок SiOF, полученных прямым осаждением из ионных пучков / Д. С. Данилевич // Электронные системы и технологии : сборник тезисов докладов 56-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 18 – 20 мая 2020 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2020. – С. 314.
Abstract: Исследовано влияние парциального давления хладона и температуры подложки на оптические характеристики пленок SiOF, синтезированных прямым осаждением из ионных пучков. Установлено, что повышение давления хладона способствует небольшому снижению пропускания и увеличению поглощения покрытий. Нагрев подложки приводил к улучшению оптических характеристик пленок SiOF. Нагрев подложки приводил к росту ИК поглощения на связях С–О и О=С=О.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/40744
Appears in Collections:Электронные системы и технологии : материалы 56-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Danilevich_Opticheskiye.pdf413.63 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.