https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/40755| Title: | Исследование режимов нанесения на микротвердость пленок нитрида углерода |
| Authors: | Филимонов, Н. С. |
| Keywords: | материалы конференций;парциональное давление;микротвердость пленок;нитрид углерода |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Филимонов, Н. С. Исследование режимов нанесения на микротвердость пленок нитрида углерода / Н. С. Филимонов // Электронные системы и технологии : сборник тезисов докладов 56-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 18 – 20 мая 2020 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2020. – С. 406. |
| Abstract: | Исследовано влияние парциального давления азота и температуры подложки на микротвердость пленок нитрида углерода, синтезированных прямым осаждением из ионных пучков. Установлено, что зависимость микротвердости от давления имела экстремумный характер. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/40755 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 56-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Filimonov_Issledovaniye.pdf | 481.65 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.