https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41267| Title: | Моделирование и расчет пространственного распределения концентрации ионно-имплантированной примеси |
| Authors: | Гранько, С. В. Короткевич, А. В. |
| Keywords: | материалы конференций;ионно-имплантированные примеси;ионная имплантация |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Гранько, C. В. Моделирование и расчет пространственного распределения концентрации ионно-имплантированной примеси / Гранько C. В., Короткевич А. В. // Информационные технологии и системы 2020 (ИТС 2020) = Information Teсhnologies and Systems 2020 (ITS 2020) : материалы международной научной конференции, Минск, 18 ноября 2020 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол. : Л. Ю. Шилин [и др.]. – Минск, 2020. – С. 124–125. |
| Abstract: | Предложена модель для расчета объемного распределения концентрации примеси внедренной в твердое тело методом ионной имплантации с использованием маскирующих покрытий. Математической основой модели является использование распределения Пирсона VII, описывающее распределение концентрации при использовании модели точечного пучка ионов. Установлены особенности влияния момента эксцесса на пространственное распределения примеси. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41267 |
| Appears in Collections: | ИТС 2020 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Granko_Modelirovaniye.pdf | 449.52 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.