https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41774| Title: | Металлизация микроэлектромеханических систем на основе бинарных и тройных сплавов алюминия |
| Authors: | Черных, А. Г. Кирия, Л. Т. Ковриго, В. М. Тымощик, А. С. |
| Keywords: | материалы конференций;микроэлектроника;микроэлектромеханические системы;металлизация |
| Issue Date: | 2010 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Металлизация микроэлектромеханических систем на основе бинарных и тройных сплавов алюминия / Черных А. Г. [и др.] // Технические средства защиты информации : тезисы докладов ХVIII Белорусско-российской научно-технической конференции, Браслав, 24–28 мая 2010 г. / редкол.: Л. М. Лыньков [и др.]. – Минск : БГУИР, 2010. – С. 101. |
| Abstract: | Существующие процессы металлизации алюминием, в настоящее время, не в полной мере отвечают требованиям современных микросхем и микроэлектромеханических систем. В работе проведен сравнительный анализ структурных и электрофизических свойств металлизации на основе тонких пленок сплавов Al–Ho, Al–Si, Al–Ho–Si, Al–Si–Cu. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41774 |
| Appears in Collections: | ТСЗИ 2010 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Chernykh_Metallizatsiya.pdf | 85.99 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.