Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41774
Title: Металлизация микроэлектромеханических систем на основе бинарных и тройных сплавов алюминия
Authors: Черных, А. Г.
Кирия, Л. Т.
Ковриго, В. М.
Тымощик, А. С.
Keywords: материалы конференций;микроэлектроника;микроэлектромеханические системы;металлизация
Issue Date: 2010
Publisher: БГУИР
Citation: Металлизация микроэлектромеханических систем на основе бинарных и тройных сплавов алюминия / Черных А. Г. [и др.] // Технические средства защиты информации : тезисы докладов ХVIII Белорусско-российской научно-технической конференции, Браслав, 24–28 мая 2010 г. / редкол.: Л. М. Лыньков [и др.]. – Минск : БГУИР, 2010. – С. 101.
Abstract: Существующие процессы металлизации алюминием, в настоящее время, не в полной мере отвечают требованиям современных микросхем и микроэлектромеханических систем. В работе проведен сравнительный анализ структурных и электрофизических свойств металлизации на основе тонких пленок сплавов Al–Ho, Al–Si, Al–Ho–Si, Al–Si–Cu.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41774
Appears in Collections:ТСЗИ 2010

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Chernykh_Metallizatsiya.pdf85.99 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.