https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/421| Title: | Технология изготовления КМОП-транзисторов : метод. пособие по дисциплине «Технолог. процессы микроэлектроники» для студентов специальности1-41 01 03 «Квант. информ. системы» днев. формы обучения |
| Authors: | Черных, А. Г. Котов, Д. А. |
| Keywords: | учебно-методические пособия;технология изготовления транзисторов;КМОП-транзисторы |
| Issue Date: | 2008 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Черных, А. Г. Технология изготовления КМОП-транзисторов : метод. пособие по дисциплине «Технолог. процессы микроэлектроники» для студентов специальности1-41 01 03 «Квант. информ. системы» днев. формы обучения / А. Г. Черных, Д. А. Котов. – Минск : БГУИР, 2008. – 47 с. : ил. |
| Abstract: | Рассмотрены конструктивно-технологические особенности изготовления КМОП-транзисторов для ИС. Определены физические ограничения и ключевые технологические процессы КМОП-элементов с проектными нормами менее 130 нм. Рассмотрены различные типы КМОП-структур: с двойным затвором, вертикальной структурой, FinFET. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/421 |
| ISBN: | 978-985-488-351-9 |
| Appears in Collections: | Кафедра микро- и наноэлектроники |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Chernih_KMOP.pdf | 2 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.