Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42148
Title: Плазмохимическое травление в технологии производства МЭМС
Authors: Ясюнас, А. А.
Тымощик, А. С.
Ковальчук, Н. В.
Котов, Д. А.
Keywords: материалы конференций;микроэлектромеханические системы;электрические сигналы;плазмохимическое травление
Issue Date: 2010
Publisher: БГУИР, РБ
Citation: Плазмохимическое травление в технологии производства МЭМС / Ясюнас А. А. [и др.] // Технические средства защиты информации : тезисы докладов ХVIII Белорусско-российской научно-технической конференции, Браслав, 24–28 мая 2010 г. / редкол.: Л. М. Лыньков [и др.]. – Минск : БГУИР, 2010. – С. 115.
Abstract: Высокочастотные микроэлектромеханические системы (ВЧ МЭМС) предназначенные для модуляции, переключения, фильтрации или подстройки электрических сигналов в диапазоне от постоянного тока до тока микроволнового диапазона.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42148
Appears in Collections:ТСЗИ 2010

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Yasyunas_Plazmokhimicheskoye.pdf81.59 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.