https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42148| Title: | Плазмохимическое травление в технологии производства МЭМС |
| Authors: | Ясюнас, А. А. Тымощик, А. С. Ковальчук, Н. В. Котов, Д. А. |
| Keywords: | материалы конференций;микроэлектромеханические системы;электрические сигналы;плазмохимическое травление |
| Issue Date: | 2010 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Плазмохимическое травление в технологии производства МЭМС / Ясюнас А. А. [и др.] // Технические средства защиты информации : тезисы докладов ХVIII Белорусско-российской научно-технической конференции, Браслав, 24–28 мая 2010 г. / редкол.: Л. М. Лыньков [и др.]. – Минск : БГУИР, 2010. – С. 115. |
| Abstract: | Высокочастотные микроэлектромеханические системы (ВЧ МЭМС) предназначенные для модуляции, переключения, фильтрации или подстройки электрических сигналов в диапазоне от постоянного тока до тока микроволнового диапазона. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42148 |
| Appears in Collections: | ТСЗИ 2010 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Yasyunas_Plazmokhimicheskoye.pdf | 81.59 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.