| Title: | Технология БГИС : лаборатор. практикум для студентов специальности «Микро- и наноэлектронные технологии и системы» : в 4 ч. Ч. 3 : Технолог. процессы формирования топологии пленочных элементов |
| Authors: | Шульгов, В. В. |
| Keywords: | учебно-методические пособия;большие гибридные интегральные схемы;топология интегральных схем;пленочные элементы БГИС |
| Issue Date: | 2010 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Шульгов, В. В. Технология БГИС : лаборатор. практикум для студентов специальности «Микро- и наноэлектронные технологии и системы» : в 4 ч. Ч. 3 : Технолог. процессы формирования топологии пленочных элементов / В. В. Шульгов. – Минск : БГУИР, 2010. – 30 с. : ил. |
| Abstract: | Лабораторный практикум позволяет получить представление о технологических процессах формирования топологии пленочных элементов БГИС (формирование фоторезистивной маски, травление, электрохимическое осаждение); изучить отдельные операции технологического маршрута и контрольные операции после различных этапов изготовления БГИС; получить практические навыки в выборе и расчете технологических режимов отдельных операций. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/423 |
| ISBN: | 978-985-488-566-7 (ч. 3) |
| Appears in Collections: | Кафедра микро- и наноэлектроники
|
