Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42411
Title: Механизмы взаимодействия порошка кремния с водородом в ВЧ-плазме
Authors: Ковалевский, А. А.
Строгова, А. С.
Строгова, Н. С.
Борисевич, В. М.
Keywords: материалы конференций;высокочастотная плазма;микродисперсные порошки;нанодисперсные порошки;плазменная обработка
Issue Date: 2011
Publisher: БГУИР, РБ
Citation: Механизмы взаимодействия порошка кремния с водородом в ВЧ-плазме / Ковалевский А. А. [и др.] // Технические средства защиты информации : тезисы докладов IХ Белорусско-российской научно-технической конференции, Минск, 28–29 июня 2011 г. / редкол.: Л. М. Лыньков [и др.]. – Минск : БГУИР, 2011. – С. 81–82.
Abstract: Исследован процесс внедрения водорода в микро- и нанодисперсные порошки кремния в зависимости от величины мощности ВЧ-разряда, парциального давления водорода в реакторе и дисперсности частиц микропорошка в условиях плазменного воздействия. Результаты исследований позволили установить механизм внедрения водорода в порошки кремния учитывая то, что величина подводимой ВЧ-мощности плазменного разряда определяет эффективность генерации активных частиц и что в свою очередь способствует увеличению их сорбции.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42411
Appears in Collections:ТСЗИ 2011

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Kovalevskiy_Mekhanizmy.pdf149.63 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.