https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42411| Title: | Механизмы взаимодействия порошка кремния с водородом в ВЧ-плазме |
| Authors: | Ковалевский, А. А. Строгова, А. С. Строгова, Н. С. Борисевич, В. М. |
| Keywords: | материалы конференций;высокочастотная плазма;микродисперсные порошки;нанодисперсные порошки;плазменная обработка |
| Issue Date: | 2011 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Механизмы взаимодействия порошка кремния с водородом в ВЧ-плазме / Ковалевский А. А. [и др.] // Технические средства защиты информации : тезисы докладов IХ Белорусско-российской научно-технической конференции, Минск, 28–29 июня 2011 г. / редкол.: Л. М. Лыньков [и др.]. – Минск : БГУИР, 2011. – С. 81–82. |
| Abstract: | Исследован процесс внедрения водорода в микро- и нанодисперсные порошки кремния в зависимости от величины мощности ВЧ-разряда, парциального давления водорода в реакторе и дисперсности частиц микропорошка в условиях плазменного воздействия. Результаты исследований позволили установить механизм внедрения водорода в порошки кремния учитывая то, что величина подводимой ВЧ-мощности плазменного разряда определяет эффективность генерации активных частиц и что в свою очередь способствует увеличению их сорбции. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42411 |
| Appears in Collections: | ТСЗИ 2011 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Kovalevskiy_Mekhanizmy.pdf | 149.63 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.