Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42560
Title: Реактор осаждения алмазоподобных углеродных покрытий в плазме высокой плотности
Authors: Леонович, Н. В.
Keywords: авторефераты диссертаций;углеродные покрытия;алмазоподобные покрытия;ионно-плазменные покрытия
Issue Date: 2020
Publisher: БГУИР, РБ
Citation: Леонович, Н. В. Реактор осаждения алмазоподобных углеродных покрытий в плазме высокой плотности : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 01 / Н. В. Леонович ; науч. рук. Д. А. Котов. – Минск : БГУИР, 2020. – 8 с.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42560
Appears in Collections:1-41 80 01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Leonovich_Reaktor.pdf597.25 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.