Please use this identifier to cite or link to this item:
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42560
| Title: | Реактор осаждения алмазоподобных углеродных покрытий в плазме высокой плотности |
| Authors: | Леонович, Н. В. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;углеродные покрытия;алмазоподобные покрытия;ионно-плазменные покрытия |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Леонович, Н. В. Реактор осаждения алмазоподобных углеродных покрытий в плазме высокой плотности : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 01 / Н. В. Леонович ; науч. рук. Д. А. Котов. – Минск : БГУИР, 2020. – 8 с. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42560 |
| Appears in Collections: | 1-41 80 01 Микро- и наноэлектроника
|
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
