Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42837
Title: Конденсатор для интегральных микросхем
Other Titles: Пат. 9178 U Респ. Беларусь
Authors: Хмыль, А. А.
Емельянов, А. В.
Алиева, Н. В.
Емельянов, В. А.
Трусов, В. Л.
Шикуло, В. Е.
Сенько, С. Ф.
Keywords: патенты
интегральные микросхемы
конденсаторы
Issue Date: 2013
Publisher: Национальный центр интеллектуальной собственности, РБ
Citation: Конденсатор для интегральных микросхем : пат. 9178 U Респ. Беларусь : МПК (2006) H 01L 29/94 / Хмыль А. А., Емельянов А. В., Алиева Н. В., Емельянов В. А., Трусов В. Л., Шикуло В. Е., Сенько С. Ф. ; заявитель и патентообладатель УО Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – № u 20120965 ; заявл. 06.11.2012 ; опубл. 30.04.2013. – 6 с. : ил.
Abstract: Конденсатор для интегральных микросхем, содержащий нижнюю обкладку из легированного поликристаллического кремния, расположенную на диэлектрической пленке, сформированной на полупроводниковой подложке с активными элементами, пленку конденсаторного диэлектрика, состоящую из слоя диоксида кремния и слоя нитрида кремния, и верхнюю обкладку из легированного поликристаллического кремния, отличающийся тем, что дополнительно содержит слой оксинитрида кремния толщиной 1-5 нм, расположенный между слоем нитрида кремния и верхней обкладкой.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42837
Appears in Collections:Полезные модели

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
9178.pdf495.63 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.