https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42903| Title: | Способ травления кремниевой подложки |
| Other Titles: | Пат. 13528 Респ. Беларусь |
| Authors: | Баранов, И. Л. Табулина, Л. В. Русальская, Т. Г. Звонова, О. С. |
| Keywords: | патенты;кремниевые подложки;травление |
| Issue Date: | 2010 |
| Publisher: | Национальный центр интеллектуальной собственности |
| Citation: | Способ травления кремниевой подложки : пат. 13528 Респ. Беларусь : МПК (2009) C 25F 3/00, H 01L 21/02 / Баранов И. Л., Табулина Л. В., Русальская Т. Г., Звонова О. С. ; заявитель и патентообладатель УО Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – № a 20060701 ; заявл. 28.02.2008 ; опубл. 30.10.2010. – 7 с. |
| Abstract: | Способ травления кремниевой подложки, при котором погружают кремниевую подложку в разбавленный водный раствор, содержащий 0,5-1,1 % NH 4 F, 1,0-1,75 % HF и 0,07-0,14 % смачивающей добавки СВ-1017, и пропускают через кремниевую подложку анодный ток плотностью 50-75 мА/см 2. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42903 |
| Appears in Collections: | Изобретения |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.