Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42949
Title: Конденсатор для интегральной микросхемы
Other Titles: Пат. 19535 Респ. Беларусь
Authors: Хмыль, А. А.
Емельянов, А. В.
Алиева, Н. В.
Емельянов, В. А.
Трусов, В. Л.
Шикуло, В. Е.
Сенько, С. Ф.
Keywords: патенты;интегральные микросхемы;конденсаторы
Issue Date: 2015
Publisher: Национальный центр интеллектуальной собственности, РБ
Citation: Конденсатор для интегральной микросхемы : пат. 19535 Респ. Беларусь : МПК (2006) H 01G 4/33 / Хмыль А. А., Емельянов А. В., Алиева Н. В., Емельянов В. А., Трусов В. Л., Шикуло В. Е., Сенько С. Ф. ; заявитель и патентообладатель УО Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – № a 20121543 ; заявл. 30.06.2014 ; опубл. 30.10.2015. – 6 с. : ил.
Abstract: Конденсатор для интегральной микросхемы, содержащий сформированную на кремниевой подложке с активными элементами диэлектрическую пленку, на которой сформирована нижняя обкладка конденсатора из легированного поликристаллического кремния с расположенным на ней конденсаторным диэлектриком, выполненным в виде последовательно лежащих слоя диоксида кремния, слоя нитрида кремния и слоя оксинитрида кремния толщиной от 1 до 5 нм, а также сформированную на указанном диэлектрике верхнюю обкладку конденсатора, выполненную из легированного поликристаллического кремния, и присоединенные к указанным обкладкам локальные электрические контакты.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42949
Appears in Collections:Изобретения

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
19535.pdf521.61 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.