Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42955
Title: Способ профилирования пластины из монокристаллического кремния
Other Titles: Пат. 19684 Респ. Беларусь
Authors: Бондаренко, В. П.
Клышко, А. А.
Чубенко, Е. Б.
Keywords: патенты;монокристаллические структуры;электронная техника;полупроводниковые приборы
Issue Date: 2015
Publisher: Национальный центр интеллектуальной собственности, РБ
Citation: Способ профилирования пластины из монокристаллического кремния : пат. 19684 Респ. Беларусь : МПК (2006) H 01L 21/00 / Бондаренко В. П., Клышко А. А., Чубенко Е. Б. ; заявитель и патентообладатель УО Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – № a 20121610 ; заявл. 30.06.2014 ; опубл. 30.12.2015. – 6 с. : ил.
Abstract: Способ профилирования пластины из монокристаллического кремния, в котором на поверхности пластины формируют маску из нитрида кремния с подслоем оксида кремния, далее создают в указанной поверхности локальные области пористого кремния толщиной не менее 100 мкм путем ее анодной обработки в водном растворе электролита, содержащего изопропиловый спирт и 45%-ную фтористоводородную кислоту в количестве от 40 до 60 об. %, при плотности анодного тока от 35 до 120 мА/см 2 и температуре раствора от 1 до 5 °С, а затем создают углубления в поверхности пластины путем удаления из нее сформированных областей пористого кремния.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42955
Appears in Collections:Изобретения

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
19684.pdf101.68 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.