Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/43433
Title: Синтез пленок SiOF, полученных прямым осаждением из ионных пучков
Other Titles: Synthesis of SiOF films obtained by direct deposition from ion beams
Authors: Данилевич, Д. С.
Keywords: материалы конференций;low-k диэлектрики;SiOF;торцевой холловский ускоритель;low-k dielectrics;end-Hall accelerator
Issue Date: 2021
Publisher: БГУИР, РБ
Citation: Данилевич, Д. С. Синтез пленок SiOF, полученных прямым осаждением из ионных пучков = Synthesis of SiOF films obtained by direct deposition from ion beams / Д. С. Данилевич // Электронные системы и технологии : сборник материалов 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 19-23 апреля 2021 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2021. – С. 172–174.
Abstract: Исследовано влияние состава рабочего газа и температуры подложки на электрофизические характеристики пленок SiOF, полученных прямым осаждением из ионных пучков моносилана, аргона, кислорода и хладона-14. Установлено, что увеличение парциального давления хладона-14 привело к существенному уменьшению диэлектрической проницаемости. Повышение температуры подложки привело к росту диэлектрической проницаемости, что это может быть связано с десорбцией фтора из покрытия.The effect of the composition of the working gas and the substrate temperature on the electrophysical characteristics of SiOF films obtained by direct deposition from ion beams of monosilane, argon, oxygen, and freon-14 is investigated. It was found that an increase in the partial pressure of freon-14 led to a significant decrease in the dielectric constant. An increase in the substrate temperature led to an increase in the dielectric constant, which may be due to the desorption of fluorine from the coating.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/43433
Appears in Collections:Электронные системы и технологии : материалы 57-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2021)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Danilevich_Sintez.pdf283.02 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.