Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/44385
Title: Процесс формирования алмазоподобных углеродных покрытий с применением плазмы высокой плотности
Authors: Леонович, Н. В.
Занько, А. И.
Логунов, К. Т.
Keywords: материалы конференций;химическое осаждение;углеродные покрытия;алмазоподобные углеродные покрытия
Issue Date: 2021
Publisher: БГУИР, РБ
Citation: Леонович, Н. В. Процесс формирования алмазоподобных углеродных покрытий с применением плазмы высокой плотности / Леонович Н. В., Занько А. И., Логунов К. Т. // Радиотехника и электроника : сборник тезисов докладов 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель 2021 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2021. – С. 101–103.
Abstract: Разработана технология химического осаждения алмазоподобного углеродного покрытия в плазме высокой плотности. Описан реактор для плазмохимического осаждения. Получены покрытия алмазоподобного углерода. Представлены результаты исследования технологического процесса осаждения алмазоподобных углеродных покрытий.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/44385
Appears in Collections:Радиотехника и электроника : материалы 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2021)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Leonovich_Protsess.pdf706.73 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.