https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/44385| Title: | Процесс формирования алмазоподобных углеродных покрытий с применением плазмы высокой плотности |
| Authors: | Леонович, Н. В. Занько, А. И. Логунов, К. Т. |
| Keywords: | материалы конференций;химическое осаждение;углеродные покрытия;алмазоподобные углеродные покрытия |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Леонович, Н. В. Процесс формирования алмазоподобных углеродных покрытий с применением плазмы высокой плотности / Леонович Н. В., Занько А. И., Логунов К. Т. // Радиотехника и электроника : сборник тезисов докладов 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель 2021 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2021. – С. 101–103. |
| Abstract: | Разработана технология химического осаждения алмазоподобного углеродного покрытия в плазме высокой плотности. Описан реактор для плазмохимического осаждения. Получены покрытия алмазоподобного углерода. Представлены результаты исследования технологического процесса осаждения алмазоподобных углеродных покрытий. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/44385 |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2021) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Leonovich_Protsess.pdf | 706.73 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.