https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/44393| Title: | Автоматизированный контроль процесса прошивки отверстий в кремневых подложках посредством лазерного и инфракрасного нагрева |
| Authors: | Лаппо, А. И. Терентьева, Г. А. Шубелько, Ю. А. |
| Keywords: | материалы конференций;3D электронные модули;кремниевые подложки;лазерный нагрев;инфракрасный нагрев |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Лаппо, А. И. Автоматизированный контроль процесса прошивки отверстий в кремневых подложках посредством лазерного и инфракрасного нагрева / А. И. Лаппо, Г. А. Терентьева, Ю. А. Шубелько // Информационные технологии и управление : материалы 57-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов по направлению 2, Минск, 19-23 апреля 2021 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Л. Ю. Шилин [и др.]. – Минск, 2021. – С. 105–106. |
| Abstract: | Автоматизированный контроль процесса формирования переходных отверстий в кремниевых подложках 3D структур по технологии TSV посредством лазерного излучения и инфракрасного нагрева в средневолновом диапазоне при помощи микроконтроллерного устройства позволяет повысить точность проводимых опытов, упростить сбор данных необходимых для последующего анализа и ля установления оптимальных параметров технологического процесса. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/44393 |
| Appears in Collections: | Информационные технологии и управление : материалы 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2021) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Lappo_Avtomatizirovannyy.pdf | 409.47 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.