https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/44416| Title: | Плазмохимическое осаждение оксида кремния при атмосферном давлении |
| Authors: | Занько, А. И. Леонович, Н. В. |
| Keywords: | материалы конференций;плазмохимическое осаждение;газовые фазы;атмосферное давление |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Занько, А. И. Плазмохимическое осаждение оксида кремния при атмосферном давлении / Занько А. И., Леонович Н. В. // Радиотехника и электроника : сборник тезисов докладов 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель 2021 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2021. – С. 128. |
| Abstract: | Проводилось плазмохимическое осаждение оксида кремния с использованием плазмы Ar+TEOS/Ar при атмосферном давлении. Стабилизация на воздухе параметров полученных пленок занимает порядка 15 дней, при этом наблюдается повышение показателя преломления с 1,4-1,45 до стехиометрического оксида кремния 1,46-1,47. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/44416 |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2021) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Zanko_Plazmokhimicheskoye.pdf | 528.56 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.