Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/44416
Title: Плазмохимическое осаждение оксида кремния при атмосферном давлении
Authors: Занько, А. И.
Леонович, Н. В.
Keywords: материалы конференций
плазмохимическое осаждение
газовые фазы
атмосферное давление
Issue Date: 2021
Publisher: БГУИР, РБ
Citation: Занько, А. И. Плазмохимическое осаждение оксида кремния при атмосферном давлении / Занько А. И., Леонович Н. В. // Радиотехника и электроника : сборник тезисов докладов 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель 2021 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2021. – С. 128.
Abstract: Проводилось плазмохимическое осаждение оксида кремния с использованием плазмы Ar+TEOS/Ar при атмосферном давлении. Стабилизация на воздухе параметров полученных пленок занимает порядка 15 дней, при этом наблюдается повышение показателя преломления с 1,4-1,45 до стехиометрического оксида кремния 1,46-1,47.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/44416
Appears in Collections:Радиотехника и электроника : материалы 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2021)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Zanko_Plazmokhimicheskoye.pdf528,56 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.