Please use this identifier to cite or link to this item:
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45131
| Title: | Система контроля параметров потоков нейтральных и заряженных частиц ионно-плазменных систем |
| Authors: | Пивоварчик, С. С. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;тонкопленочные покрытия;ионно–плазменные системы |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Пивоварчик, С. С. Система контроля параметров потоков нейтральных и заряженных частиц ионно-плазменных систем : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-39 80 03 / С. С. Пивоварчик ; науч. рук. С. М. Завадский. – Минск : БГУИР, 2021. – 12 с. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45131 |
| Appears in Collections: | 1-39 80 03 Электронные системы и технологии
|
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
