Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45294
Title: Анализ микроэлектронных структур с высоким пространственным разрешением
Authors: Емельянов, В. А.
Пономарь, В. Н.
Ухов, В. А.
Лесникова, В. П.
Keywords: доклады БГУИР;электронная микроскопия;микроэлектроника;просвечивающая электронная микроскопия
Issue Date: 2005
Publisher: БГУИР, РБ
Citation: Анализ микроэлектронных структур с высоким пространственным разрешением / Емельянов В. А. [и др.] // Доклады БГУИР. – 2005. – № 5. – С. 74.
Abstract: В данной работе для подготовки вертикальных сечений использовались различные механические обработки и финишное утонение ионным пучком. Использование такой комбинации методов является наиболее универсальным, так как способствует минимизации эффектов, связанных с различными свойствами материалов, входящих в многослойные системы, какими являются микросхемы. Изучены и установлены оптимальные условия проведения каждой операции, подробное описание последовательности действий при их выполнении отражены в соответствующих методиках.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45294
Appears in Collections:№ 5

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Emeliyanov_Analiz2.pdf169.65 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.