https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45473| Title: | Материалы для обратных масок технологии литографии и методы их термодеструкции |
| Authors: | Лыньков, Л. М. Жданович, С. В. Петров, Н. П. Прудник, А. М. Богуш, В. А. |
| Keywords: | публикации ученых;технологии литографии;термодеструкция |
| Issue Date: | 1996 |
| Publisher: | Институт механики металлополимерных систем им. В. А. Белого НАН Беларуси |
| Citation: | Материалы для обратных масок технологии литографии и методы их термодеструкции / Л. М. Лыньков [и др.] // Материалы, технологии, инструмент. – 1996. – № 2. – С. 88. |
| Abstract: | Применение новых материалов в качестве масок для обратной литографии требует изучения механических и других свойств в условиях термообработки, приводящей к их полному разрушению. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45473 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Lynkov_Materialy.pdf | 61.47 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.