| Title: | Особенности микроструктуры и электрические характеристики тонких пленок серебра с вольфрамом, полученных химическим осаждением |
| Authors: | Богуш, В. А. |
| Keywords: | публикации ученых;микроэлектроника;химическое осаждение;пленки серебра |
| Issue Date: | 2004 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Богуш, В. А. Особенности микроструктуры и электрические характеристики тонких пленок серебра с вольфрамом, полученных химическим осаждением / Богуш В. А. // Новые технологии изготовления многокристальных модулей: материалы докладов Международной научно-технической конференции, 27 сентября – 1 октября 2004 г., Минск. – Минск, 2004. – С. 85–88. |
| Abstract: | Современный уровень развития электроники, компьютерной техники и, особенно, микроэлектроники характеризуется высоким уровнем технологии, расширением элементной базы и функциональности изделий, использованием большого числа различных материалов. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45619 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
